Для цитирования:

Чу Ч.Ш. Компьютерное моделирование процессов роста тонких пленок при термическом вакуумном напылении. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2016;(6):22-31.

For citation:

Chu T.S. Computer Simulation of the Thin Film’s Growth Process during Thermal Vacuum Evaporation. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2016;(6):22-31. (In Russ.)