Для цитирования:

Коробков М.А., Барабанов В.С. Вероятностный подход к оценке качества проведения операции фотолитографии при производстве печатных плат. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2025;28(1):17-34. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2025-28-1-17-34

For citation:

Korobkov M.A., Barabanov V.S. Probabilistic Approach to Assessing Photolithography Quality in the Production of Printed Circuit Boards. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2025;28(1):17-34. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2025-28-1-17-34