Для цитирования:
Бусурин В.И., Коробков К.А., Зо Л. Компенсационный микроэлектромеханический преобразователь ускорения c пьезоэлектрическим чувствительным элементом и оптическим считыванием. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2024;27(1):79-89. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-1-79-89
For citation:
Busurin V.I., Korobkov K.A., Zaw L. A Compensator Microelectromechanical Acceleration Transducer with a Piezoelectric Sensing Element and Optical Reading. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2024;27(1):79-89. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-1-79-89