Для цитирования:

Тупик В.А., Чу Ч.Ш., Стеблевска И. Моделирование и оптимизация функции качества технологических процессов формирования функциональных покрытий и пленок. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2015;(5):15-19.

For citation:

Tupik V.A., Chu T.S., Steblevska I. The simulation and the optimization of the quality function of the process of the nanoscale film’s growth. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2015;(5):15-19. (In Russ.)