Влияние давления рабочего газа на компонентный состав и свойства тонких пленок титаната бария-стронция

Исследовано влияние давления рабочего газа и тока разряда в процессе ионно-плазменного распыления на параметры осаждаемых сегнетоэлектрических покрытий титаната бария-стронция. Поскольку давление рабочего газа влияет на длину термализации распыленных атомов, его изменение в процессе осаждения позволяет менять компонентный состав осаждаемой пленки. Изменение тока разряда приводит к изменению скорости роста пленки.

Высокочастотное магнетронное распыление, тонкие пленки, титанат бария-стронция, давление рабочего газа, компонентный состав, резерфордовское обратное рассеяние, длина термализации, атомно-силовая микроскопия

1. Ahmed A., Goldthorp I. A., Khandani A. K. Electrically tunable materials for microwave applications // Appl. Phys. Rev. 2015. Vol. 2, iss. 1. P. 011302.

2. Gevorgian S. Ferroelectrics in Microwave Devices, Circuits and Systems. Physics, Modelling, Fabrication and Measurements. London: Springer, 2009. 416 p.

3. Ferroelectric Materials for Microwave Tunable Applications / K. Tagantsev, V. O. Sherman, K. F. Astafiev, J. Venkatesh, N. Setter // J. of Electroceramics. 2003. Vol. 11, iss. 1. P. 5-66.

4. Advances in Ferroelectrics / ed. by A. P. Barranco. Rijeka, Croatia: InTech, 2012. 542 p.

5. Сверхвысокочастотные свойства сегнетоэлектрических варикондов на основе пленок BaxSr1-xTiO3 с Mg-содержащей добавкой / А. В. Тумаркин, Е. Р. Тепина, Е. А. Ненашева, Н. Ф. Картенко, А. Б. Козырев // ЖТФ. 2012. Т. 82, вып. 6. С. 53-57.

6. Волноводно-щелевой 60 ГГц фазовращатель на основе BSTO сегнетоэлектрической пленки / А. Б. Козырев, М. М. Гайдуков, А. Г. Гагарин, А. В. Тумаркин, С. В. Разумов // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28, вып. 6. С. 51-56.

7. Millimeter-Wave Loaded Line Ferroelectric Phase Shifters / A. Kozyrev, A. Ivanov, O. Soldatenkov, A. Tumarkin, S. Ivanova, T. Kaydanova, J. D. Perkins, J. Alleman, D. S. Ginley, L. Sengupta, L. Chiu, X. Zhang // Integrated Ferroelectrics. 2003. Vol. 55. P. 847-852.

8. Влияние температуры подложки на начальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на сапфире / А. В. Тумаркин, И. Т. Серенков, В. И. Сахаров, В. В. Афросимов, А. А. Одинец // ФТТ. 2016. Т. 58, вып. 2 С. 354-359.

9. Вольпяс В. А., Козырев А. Б. Термализация атомных частиц в газах // ЖЭТФ. 2011. Т. 140, вып. 1. С. 196-204.

10. Кукушкин С. А., Слезов В. В. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). М.: Наука, 1996. 304 с.

11. Kukushkin S A. Evolution processes in multicomponent and multiphase films // Thin Solid Films. 1992. Vol. 207, iss. 1-2. P. 302-312.