Для цитирования:
Сидорова С.В., Купцов А.Д., Пименов И.Е. Расчет параметров и моделирование системы ионной обработки в вакууме. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2026;29(1):40-54. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2026-29-1-40-54
For citation:
Sidorova S.V., Kouptsov A.D., Pimenov I.E. Parameter Calculation and Simulation of a Vacuum Ion Beam Treatment System. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2026;29(1):40-54. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2026-29-1-40-54
JATS XML
Послать статью по эл. почте 