Влияние лазерного отжига на структуру, оптические и электрические свойства тонких пленок оксида цинка
Аннотация
Представлены результаты исследования влияния лазерного отжига пленок оксида цинка на их оптические и электрические характеристики. Отработаны технологические режимы модификации слоев для использования в производстве тонкопленочных солнечных модулей.
Об авторах
В. П. Афанасьев
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Россия
Россия
Н. В. Мухин
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Россия
Россия
Д. Н. Редька
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Россия
Россия
И. А. Шарипова
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Россия
Россия
Список литературы
1. Афанасьев В. П., Теруков Е. И., Шерченков А. А. Тонкопленочныe солнечные элементы на основе кремния. 2-е изд. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2011. 168 с.
2. Fan Yang. Large Area a-Si/μc-Si Thin Film Solar Cells // Solar Sells - Thin-Film Technologies. Rijeka: InTech, 2011. C. 335-358.
3. Zang S. B., Wei S.-H., Zunger A. Intrinsic n-type versus p-type Doping Asymmetry and the De-fect Physics of ZnO // Phys. Rev. B. 2001. Vol. 63, iss. 7. 075205.
4. Photoinduced Formation of Zinc Nanoparticles by UV Laser Irradiation Of Zno / E. H. Khan, S. C. Langford, J. T. Dickinson, L. A. Boatner, W. P. Hess // Langmuir. 2009. Vol. 25, iss. 4. P. 1930-1933.
5. Двуреченский А. В., Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. Импульсный отжиг полупро-водниковых материалов. М.: Наука, 1982. 208 с.
6. Laser and Electron-Beam Interactions with Solids / ed. by B. R. Appleton, G. K. Celler. N. Y.: Elsevier, 1982. 404 p.
7. Narayan J., Brown W. L., Lemons R. A. Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1983. Vol. 13. P. 375-379
Рецензия
Для цитирования:
Афанасьев В.П., Мухин Н.В., Редька Д.Н., Шарипова И.А. Влияние лазерного отжига на структуру, оптические и электрические свойства тонких пленок оксида цинка. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2016;(3):32-35.
For citation:
Afanasiev V.P., Mukhin N.V., Redka D.N., Sharipova I.A. Influence of Laser Annealing on the Structure, Electrical and Optical Properties of Zinc Oxide Thin Films. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2016;(3):32-35. (In Russ.)
Просмотров: 326
Послать статью по эл. почте 