radioelectronicsИзвестия высших учебных заведений России. РадиоэлектроникаJournal of the Russian Universities. Radioelectronics1993-89852658-4794Saint Petersburg Electrotechnical Universityradioelectronics-105Research ArticleПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВENGINEERING DESIGN AND TECHNOLOGIES OF RADIO ELECTRONIC FACILITIESВлияние лазерного отжига на структуру, оптические и электрические свойства тонких пленок оксида цинкаInfluence of Laser Annealing on the Structure, Electrical and Optical Properties of Zinc Oxide Thin FilmsАфанасьевВ. П.AfanasievV. P.VPAfanasiev@mail.ruМухинН. В.MukhinN. V.MuhinNV_LETI@mail.ruРедькаД. Н.RedkaD. N.dnredka@gmail.comШариповаИ. А.SharipovaI. A.innature@mail.ruСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)РоссияSaint Petersburg Electrotechnical University "LETI"Russian Federation201628062016033235Copyright © Афанасьев В.П., Мухин Н.В., Редька Д.Н., Шарипова И.А., 20162016Афанасьев В.П., Мухин Н.В., Редька Д.Н., Шарипова И.А.Afanasiev V.P., Mukhin N.V., Redka D.N., Sharipova I.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://re.eltech.ru/jour/article/view/105

Представлены результаты исследования влияния лазерного отжига пленок оксида цинка на их оптические и электрические характеристики. Отработаны технологические режимы модификации слоев для использования в производстве тонкопленочных солнечных модулей.

Paper presents experimental results of research of influence of laser annealing on the optical and electrical properties ZnO films. Developed technological regimes of modifications of layers in the production of thin film solar modules.

Оксид цинкалазерный отжигфотовольтаикалазерная микрообработкатехнологияZinc oxidelaser annealingphotovoltaicslaser treatmenttechnologyReferencesАфанасьев В. П., Теруков Е. И., Шерченков А. А. Тонкопленочныe солнечные элементы на основе кремния. 2-е изд. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2011. 168 с.Афанасьев В. П., Теруков Е. И., Шерченков А. А. Тонкопленочныe солнечные элементы на основе кремния. 2-е изд. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2011. 168 с.Fan Yang. Large Area a-Si/μc-Si Thin Film Solar Cells // Solar Sells - Thin-Film Technologies. Rijeka: InTech, 2011. C. 335-358.Fan Yang. Large Area a-Si/μc-Si Thin Film Solar Cells // Solar Sells - Thin-Film Technologies. Rijeka: InTech, 2011. C. 335-358.Zang S. B., Wei S.-H., Zunger A. Intrinsic n-type versus p-type Doping Asymmetry and the De-fect Physics of ZnO // Phys. Rev. B. 2001. Vol. 63, iss. 7. 075205.Zang S. B., Wei S.-H., Zunger A. Intrinsic n-type versus p-type Doping Asymmetry and the De-fect Physics of ZnO // Phys. Rev. B. 2001. Vol. 63, iss. 7. 075205.Photoinduced Formation of Zinc Nanoparticles by UV Laser Irradiation Of Zno / E. H. Khan, S. C. Langford, J. T. Dickinson, L. A. Boatner, W. P. Hess // Langmuir. 2009. Vol. 25, iss. 4. P. 1930-1933.Photoinduced Formation of Zinc Nanoparticles by UV Laser Irradiation Of Zno / E. H. Khan, S. C. Langford, J. T. Dickinson, L. A. Boatner, W. P. Hess // Langmuir. 2009. Vol. 25, iss. 4. P. 1930-1933.Двуреченский А. В., Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. Импульсный отжиг полупро-водниковых материалов. М.: Наука, 1982. 208 с.Двуреченский А. В., Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. Импульсный отжиг полупро-водниковых материалов. М.: Наука, 1982. 208 с.Laser and Electron-Beam Interactions with Solids / ed. by B. R. Appleton, G. K. Celler. N. Y.: Elsevier, 1982. 404 p.Laser and Electron-Beam Interactions with Solids / ed. by B. R. Appleton, G. K. Celler. N. Y.: Elsevier, 1982. 404 p.Narayan J., Brown W. L., Lemons R. A. Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1983. Vol. 13. P. 375-379Narayan J., Brown W. L., Lemons R. A. Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1983. Vol. 13. P. 375-379

The authors declare that there are no conflicts of interest present.