Для цитирования:
Ершов А.А., Чекмезов К.Н., Буровихин А.П., Никитин А.А., Аболмасов С.Н., Сташкевич А.А., Теруков Е.И., Еськов А.В., Семенов А.А., Устинов А.Б. Влияние отжига на волноведущие свойства планарных волноводов, изготовленных на основе пленок из нитрида кремния различной толщины. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2024;27(2):119-131. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-2-119-131
For citation:
Ershov A.A., Chekmezov K.N., Burovikhin A.P., Nikitin A.A., Abolmasov S.N., Stashkevich A.A., Terukov E.I., Eskov A.V., Semenov A.A., Ustinov A.B. Effect of Annealing Treatment on the Optical Properties of Silicon Nitride Waveguides. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2024;27(2):119-131. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2024-27-2-119-131
Послать статью по эл. почте 