Для цитирования:
Лукьянов Д.П., Боронахин А.М., Шевченко С.Ю., Хиврич М.А., Амиров Т.А. Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2019;22(5):116-129. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2019-22-5-116-129
For citation:
Lukyanov D.P., Boronakhin A.M., Shevchenko S.Yu., Khivrich M.A., Amirov T.A. Microaccelerometer on Surface Acoustic Waves with a Ring Resonator on Anisotropic Material. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2019;22(5):116-129. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2019-22-5-116-129