Спектры фотопроводимости пленок аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями
Аннотация
Разработана методика исследования пленок аморфного гидрогенизированного кремния с неоднородно распределенными по толщине нанокристаллическими включениями (pm-Si:H), осажденных на стеклянные подложки. Исследованы спектры фототока для пленок различной толщины при освещении со стороны свободной поверхности пленки и со стороны стеклянной подложки. Установлено наличие остаточной фотопроводимости, а также двух максимумов в спектрах фотопроводимости пленок, что, по-видимому, свидетельствует о наличии кристаллической и аморфной фаз в пленках.
Об авторах
В. П. Афанасьев
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Россия
Россия
А. В. Васильев
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Россия
Россия
Список литературы
1. Курова И. А., Ормонт Н. Н. О фотоиндуцированных эффектах в нелегированных пленках pm-Si:H // Физика и техника полупроводников. 2013. Вып. 6. С. 757-760.
2. Фотопроводимость пленок гидрированного кремния с двухфазной структурой / А. Г. Казанский, Е. И. Теруков, П. А. Форш, J. P. Kleider // Физика и техника полупроводников. 2010. Вып. 4. С. 513-516.
3. Особенности фотоэлектрических и оптических свойств пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных плазмохимическим осаждением из смеси моносилана с водородом / А. Г. Казанский, Е. И. Теруков, П. А. Форш, М. В. Хенкин // Физика и техника полупроводников. 2011. Вып. 4. С. 518-523.
4. Thin-film Silicon Solar Cells / ed. by Arvind Shah. Lausanne: EPFL Press, 2010. 430 p.
5. Фотопроводимость тонких пленок аморфного гидрированного кремния / А. Г. Казанский, О. Г. Кошелев, А. Ю. Сазонов, А. А. Хомич // Физика и техника полупроводников. 2008. Вып. 2. С. 192-194.
Рецензия
Для цитирования:
Афанасьев В.П., Васильев А.В. Спектры фотопроводимости пленок аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2016;(5):57-60.
For citation:
Afanasiev V.P., Vasilev A.V. Photoconductivity Spectra of Amorphous Hydrogenated Silicon Films with Nanocrystalline Inclusions. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2016;(5):57-60. (In Russ.)
Просмотров: 317
Послать статью по эл. почте 