Для цитирования:
Иванов А.А., Марголин В.И., Никифоров А.В., Нгуен В., Петрова Г.В., Протченко А.И., Рассадина А.А., Тупик В.А., Шарова Н.Н., Шолина И.С., Корбут А.В. Рентгеновская литография для реализации наноразмерных изображений. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2026;29(3):44-56. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2026-29-3-44-56
For citation:
Ivanov A.A., Margolin V.I., Nikiforov A.V., Nguyen V., Petrova G.V., Protchenko A.I., Rassadina A.A., Tupik V.A., Sharova N.N., Sholina I.S., Korbut A.V. X-Ray Lithography for Nanoscale Image Formation. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2026;29(3):44-56. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2026-29-3-44-56
JATS XML
Послать статью по эл. почте 