Рудаков, Г. А., НПК "Технологический центр", Россия
-
№ 4 (2018) - МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ВЛИЯНИЕ ТЕПЛОВОГО БЮДЖЕТА ФОРМИРОВАНИЯ КАНТИЛЕВЕРНЫХ КОНСОЛЕЙ SINX/AL НА НАЧАЛЬНЫЕ ДЕФОРМАЦИИ ТЕПЛОВЫХ СЕНСОРОВ МЭМС
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 1993-8985 (Print)
ISSN 2658-4794 (Online)
ISSN 2658-4794 (Online)
