Полноэкранный режим

Для цитирования: Рудаков Г.А., Хафизов Р.З. ВЛИЯНИЕ ТЕПЛОВОГО БЮДЖЕТА ФОРМИРОВАНИЯ КАНТИЛЕВЕРНЫХ КОНСОЛЕЙ SINX/AL НА НАЧАЛЬНЫЕ ДЕФОРМАЦИИ ТЕПЛОВЫХ СЕНСОРОВ МЭМС. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2018;(4):47-56. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2018-21-4-47-56

For citation: Rudakov G.A., Khafizov R.Z. INITIAL DEFORMATION OF SINX/AL CANTILEVERS ACCORDING TO THERMAL BUDGET FOR MEMS SENSORS. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2018;(4):47-56. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2018-21-4-47-56

Просмотров: 55

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1993-8985 (Print)

197376, Санкт-Петербург, ул. Проф. Попова, 5, корп. 5Ж, СПбГЭТУ «ЛЭТИ»,
Тел.: +7 (812) 234-10-13,
e-mail: radioelectronic@yandex.ru

создано и поддерживается NEICON
(лаборатория Elpub)
powered by PKP OJS