Для цитирования:

Рудаков Г.А., Хафизов Р.З. ВЛИЯНИЕ ТЕПЛОВОГО БЮДЖЕТА ФОРМИРОВАНИЯ КАНТИЛЕВЕРНЫХ КОНСОЛЕЙ SINX/AL НА НАЧАЛЬНЫЕ ДЕФОРМАЦИИ ТЕПЛОВЫХ СЕНСОРОВ МЭМС. Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. 2018;(4):47-56. https://doi.org/10.32603/1993-8985-2018-21-4-47-56

For citation:

Rudakov G.A., Khafizov R.Z. INITIAL DEFORMATION OF SINX/AL CANTILEVERS ACCORDING TO THERMAL BUDGET FOR MEMS SENSORS. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2018;(4):47-56. (In Russ.) https://doi.org/10.32603/1993-8985-2018-21-4-47-56