Influence of Deposition Pressure on Component Composition and Properties of Barium Strontium Titanate Thin Films
Abstract
Influence of deposition pressure on the properties of ferroelectric barium strontium titanate thin films obtained by RF magnetron sputtering has been investigated. It has been shown that the deposition pressure affects the component composition of the films as the spatial zone of atomic particle thermalization changes significantly. Influence of deposition pressure on growth rate and, hence, on film thickness has been studied.
About the Authors
A. G. Altynnikov
Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"
Russian Federation
Russian Federation
A. G. Gagarin
Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"
Russian Federation
Russian Federation
M. V. Zlygostov
Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"
Russian Federation
Russian Federation
A. Y. Popov
Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"
Russian Federation
Russian Federation
S. V. Razumov
Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"
Russian Federation
Russian Federation
A. V. Tumarkin
Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Ahmed A., Goldthorp I. A., Khandani A. K. Electrically tunable materials for microwave applications // Appl. Phys. Rev. 2015. Vol. 2, iss. 1. P. 011302.
2. Gevorgian S. Ferroelectrics in Microwave Devices, Circuits and Systems. Physics, Modelling, Fabrication and Measurements. London: Springer, 2009. 416 p.
3. Ferroelectric Materials for Microwave Tunable Applications / K. Tagantsev, V. O. Sherman, K. F. Astafiev, J. Venkatesh, N. Setter // J. of Electroceramics. 2003. Vol. 11, iss. 1. P. 5-66.
4. Advances in Ferroelectrics / ed. by A. P. Barranco. Rijeka, Croatia: InTech, 2012. 542 p.
5. Сверхвысокочастотные свойства сегнетоэлектрических варикондов на основе пленок BaxSr1-xTiO3 с Mg-содержащей добавкой / А. В. Тумаркин, Е. Р. Тепина, Е. А. Ненашева, Н. Ф. Картенко, А. Б. Козырев // ЖТФ. 2012. Т. 82, вып. 6. С. 53-57.
6. Волноводно-щелевой 60 ГГц фазовращатель на основе BSTO сегнетоэлектрической пленки / А. Б. Козырев, М. М. Гайдуков, А. Г. Гагарин, А. В. Тумаркин, С. В. Разумов // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28, вып. 6. С. 51-56.
7. Millimeter-Wave Loaded Line Ferroelectric Phase Shifters / A. Kozyrev, A. Ivanov, O. Soldatenkov, A. Tumarkin, S. Ivanova, T. Kaydanova, J. D. Perkins, J. Alleman, D. S. Ginley, L. Sengupta, L. Chiu, X. Zhang // Integrated Ferroelectrics. 2003. Vol. 55. P. 847-852.
8. Влияние температуры подложки на начальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на сапфире / А. В. Тумаркин, И. Т. Серенков, В. И. Сахаров, В. В. Афросимов, А. А. Одинец // ФТТ. 2016. Т. 58, вып. 2 С. 354-359.
9. Вольпяс В. А., Козырев А. Б. Термализация атомных частиц в газах // ЖЭТФ. 2011. Т. 140, вып. 1. С. 196-204.
10. Кукушкин С. А., Слезов В. В. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). М.: Наука, 1996. 304 с.
11. Kukushkin S A. Evolution processes in multicomponent and multiphase films // Thin Solid Films. 1992. Vol. 207, iss. 1-2. P. 302-312.
Review
For citations:
Altynnikov A.G., Gagarin A.G., Zlygostov M.V., Popov A.Y., Razumov S.V., Tumarkin A.V. Influence of Deposition Pressure on Component Composition and Properties of Barium Strontium Titanate Thin Films. Journal of the Russian Universities. Radioelectronics. 2016;(6):53-56. (In Russ.)
Views:
434
Email this article 