<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">radioelectronics</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Journal of the Russian Universities. Radioelectronics</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">1993-8985</issn><issn pub-type="epub">2658-4794</issn><publisher><publisher-name>Saint Petersburg Electrotechnical University</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id pub-id-type="doi">10.32603/1993-8985-2024-27-6-6-19</article-id><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">radioelectronics-949</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>ENGINEERING DESIGN AND TECHNOLOGIES OF RADIO ELECTRONIC FACILITIES</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Расчет эффективной диэлектрической проницаемости и емкости щелевого и плоскопараллельного конденсаторов с высокой температурной стабильностью характеристик на основе многослойной сегнетоэлектрической структуры</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Calculation of the Effective Dielectric Constant and Capacitance of Slit and Plane-Parallel Capacitors with High Temperature Stability Characteristics Based on a Multilayer Ferroelectric Structure</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Мироненко</surname><given-names>И. Г.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Mironenko</surname><given-names>I. G.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Мироненко Игорь Германович – доктор технических наук (1979), профессор (1981) кафедры микрорадиоэлектроники и технологии радиоаппаратуры. Автор более 150 научных работ.</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Igor G. Mironenko, Dr Sci. (Eng.) (1979), Professor (1981) of the Department of Microradioelectronics and Radio Equipment Technology</p><p>5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022</p><p> </p></bio><email xlink:type="simple">eltech-mit-mig@gmail.com</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Соколов</surname><given-names>С. С.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Sokolov</surname><given-names>S. S.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Соколов Сергей Сергеевич – доктор технических наук (1993), профессор (1995) кафедры микрорадиоэлектроники и технологии радиоаппаратуры. Автор более 150 научных работ.</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Sergey S. Sokolov, Dr Sci. (Eng.) (1993), Professor (1995) of the Department of Microradioelectronics and Radio Equipment Technology</p><p>5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022</p><p> </p></bio><email xlink:type="simple">sovet@etu.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><contrib-id contrib-id-type="orcid">https://orcid.org/0000-0001-6873-6354</contrib-id><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Шевченко</surname><given-names>М. Е.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Shevchenko</surname><given-names>M. E.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Шевченко Майя Евгеньевна – кандидат технических наук (1997), доцент (2002) кафедры радиоэлектронных средств</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Maya E. Shevchenko, Cand. Sci. (Eng.) (1997), Associate Professor (2002) of the Department of Radio Electronics Equipment</p><p>5, Professor Popov St., St Petersburg 197002</p><p> </p></bio><email xlink:type="simple">M_E_Shevchenko@mail.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><contrib-id contrib-id-type="orcid">https://orcid.org/0000-0002-5247-6006</contrib-id><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Севериков</surname><given-names>В. С.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Severikov</surname><given-names>V. S.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Севериков Василий Сергеевич – магистр по специальности "Техническая физика" (2019); аспирант кафедры микрорадиоэлектроники и технологии радиоаппаратуры</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Vasily S. Severikov, Master in Technical Physics (2019); Postgraduate student of the Department of Microradioelectronics and Radio Equipment Technology</p><p>5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022</p></bio><email xlink:type="simple">severva3@gmail.com</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Фам</surname><given-names>Конг Че</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Fam</surname><given-names>Kong Che</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Фам Конг Че – магистр по специальности "Радиоэлектронные системы" (2016);  аспирант кафедры микрорадиоэлектроники и технологии радиоаппаратуры</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Fam Kong Che, Master in Radioelectronic systems (2016); Postgraduate student of the Department of Microradioelectronics and Radio Equipment Technology</p><p>5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022</p></bio><email xlink:type="simple">khanhlinhdangthditrach@gmail.com</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Протченко</surname><given-names>А. И.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Protchenko</surname><given-names>A. I.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Протченко Артемий Игоревич – инженер по специальности "Материаловедение и технологии новых материалов" (2000); заместитель генерального директора по государственному оборонному заказу</p><p>ул. Цветочная, д. 25, к. 3, лит. Б, Санкт-Петербург, 196006</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Artemy I. Protchenko, engineer in Materials Science and  Technologies of New Materials (2000); Deputy Director General for State Equipment Order</p><p>25, build. 3, let. B, Tsvetochnaya St., St Petersburg 196006</p></bio><email xlink:type="simple">a.i.protchenko@domen.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Шарова</surname><given-names>Н. Н.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Sharova</surname><given-names>N. N.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Шарова Наталья Николаевна – инженер по специальности "Прикладная математика и информатика" (1997); заместитель генерального директора </p><p>ул. Цветочная, д. 25, к. 3, лит. Б, Санкт-Петербург, 196006</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Natalia N. Sharova, Engineer in Applied Mathematics and Computer Science (1997);  Deputy General Director  </p><p>25, build. 3, let. B, Tsvetochnaya St., St Petersburg 196006</p></bio><email xlink:type="simple">n.n.sharova@domen.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><contrib-id contrib-id-type="orcid">https://orcid.org/0000-0002-5147-0630</contrib-id><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Буровихин</surname><given-names>А. П.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Burovikhin</surname><given-names>A. P.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Буровихин Антон Павлович – инженер 2-й категории лаборатории технологии материалов и элементов интегральной радиофотоники</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Anton P. Burovikhin, engineer of the Laboratory of Technology of Materials and Elements of Integrated Radiophotonics</p><p>5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022</p></bio><email xlink:type="simple">antonburovihin@mail.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Иванов</surname><given-names>А. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Ivanov</surname><given-names>A. A.</given-names></name></name-alternatives><bio xml:lang="ru"><p>Иванов Аркадий Анатольевич – доктор технических наук (2018), профессор (2020) кафедры микрорадиоэлектроники и технологии радиоаппаратуры</p><p>ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022</p></bio><bio xml:lang="en"><p>Arkady A. Ivanov, Dr Sci. (2018), Professor (2020) of the Department of Microradioelectronics and Radio Equipment Technology</p><p>5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022</p></bio><email xlink:type="simple">aai2@yandex.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib></contrib-group><aff-alternatives id="aff-1"><aff xml:lang="ru"><institution>Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Saint Petersburg Electrotechnical University</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-2"><aff xml:lang="ru"><institution>Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина); ОАО "Завод Магнетон"</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>Saint Petersburg Electrotechnical University; JSC "Magneton Plant"</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><aff-alternatives id="aff-3"><aff xml:lang="ru"><institution>АО НИИ "Феррит-Домен"</institution><country>Россия</country></aff><aff xml:lang="en"><institution>JSC Research Institute "Ferrite-Domain"</institution><country>Russian Federation</country></aff></aff-alternatives><pub-date pub-type="collection"><year>2024</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>27</day><month>12</month><year>2024</year></pub-date><volume>27</volume><issue>6</issue><fpage>6</fpage><lpage>19</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Мироненко И.Г., Соколов С.С., Шевченко М.Е., Севериков В.С., Фам К.Ч., Протченко А.И., Шарова Н.Н., Буровихин А.П., Иванов А.А., 2024</copyright-statement><copyright-year>2024</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Мироненко И.Г., Соколов С.С., Шевченко М.Е., Севериков В.С., Фам К.Ч., Протченко А.И., Шарова Н.Н., Буровихин А.П., Иванов А.А.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Mironenko I.G., Sokolov S.S., Shevchenko M.E., Severikov V.S., Fam K.C., Protchenko A.I., Sharova N.N., Burovikhin A.P., Ivanov A.A.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://re.eltech.ru/jour/article/view/949">https://re.eltech.ru/jour/article/view/949</self-uri><abstract><sec><title>Введение</title><p>Введение. Создание современной электронной компонентной базы с улучшенными характеристиками возможно с применением новых материалов и технологий их изготовления. Поэтому важен вопрос анализа электрических параметров электронных компонентов, содержащих материалы, расширяющие их функциональные возможности. Стабилизация электрических свойств конденсаторов с переменной емкостью при изменении управляющего напряжения вследствие температурных воздействий является актуальной задачей. Решить ее можно используя совокупность нелинейных диэлектриков, свойства которых взаимно компенсируют нестабильность эффективной диэлектрической проницаемости емкости в широком интервале температур. К таким материалам относятся сегнетоэлектрики, обладающие спонтанной поляризацией, зависящей от температуры и стороннего электрического поля.</p></sec><sec><title>Цель работы</title><p>Цель работы. Создание расчетных моделей планарных щелевых и сэндвич-структур, содержащих многослойные пленки с изменяемыми по толщине стехиометрическими составами сегнетоэлектрических материалов. На основе таких структур можно спроектировать конденсаторы, емкость которых зависит от управляющего напряжения. Их можно использовать в качестве сосредоточенных элементов схем, работающих в диапазонах НЧ–СВЧ-длин волн и обладающих высокой температурной стабильностью.</p></sec><sec><title>Материалы и методы</title><p>Материалы и методы. Вычислительные математические модели для анализа слоистых структур созданы с помощью метода конформных отображений и использования граничных условий для касательных и нормальных компонент электрического поля.</p></sec><sec><title>Результаты</title><p>Результаты. Выполнен анализ емкости щелевого и сэндвич (плоскопараллельного)-конденсаторов на многослойных структурах. Получены результаты расчета емкости конденсаторов в зависимости от количества сегнетоэлектрических слоев и их толщин с различными стехиометрическими составами, обеспечивающими требуемую стабильность в заданном интервале температур. Увеличение количества слоев в структуре с трех до пяти расширяет температурный диапазон стабилизации эффективной диэлектрической проницаемости емкости с ~50 °С до ~120…160 °С.</p></sec><sec><title>Заключение</title><p>Заключение. Созданные математические модели позволили численно оценить температурную и полевую стабильность многослойных пленочных структур на основе бариево-стронциевых составов для применения их в качестве основы при построении компонентной базы с электрической перестройкой емкости.</p></sec></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><sec><title>Introduction</title><p>Introduction. The creation of a modern electronic component base with improved characteristics is possible with the use of new materials and technologies for their manufacture. Therefore, it is important to analyze the electrical parameters of electronic components when using materials in their design that expand their functionality. Stabilization of the electrical properties of capacitors with variable capacitance when the control voltage changes due to temperature influences is an urgent task. Its solution can be performed using a set of nonlinear dielectrics, the properties of which mutually compensate for the instability of the capacitance over a wide temperature range.</p></sec><sec><title>Aim</title><p>Aim. Creation of computational models of planar slit structures containing multilayer films with thickness-variable stoichiometric compositions of ferroelectric materials. Based on such structures, it becomes possible to design capacitors whose capacitance varies from the control voltage and which can be used as concentrated circuit elements operating in the low–frequency - microwave wavelength ranges and having high temperature stability.</p></sec><sec><title>Materials and methods</title><p>Materials and methods. Computational mathematical models for the analysis of layered structures are performed using the method of conformal maps and the use of boundary conditions for tangential and normal components of the electric field.</p></sec><sec><title>Results</title><p>Results. The capacitance of slit and plane-parallel capacitors on multilayer structures is analyzed. The results of calculating the capacitance of capacitors from the number of ferroelectric layers and their thicknesses with various stoichiometric compositions providing the required stability in a given temperature range are obtained. Increasing the number of layers in the structure from three to five expands the temperature range of stabilization of the effective dielectric constant of the tank from ~50 °C to ~120…160 °C.</p></sec><sec><title>Conclusion</title><p>Conclusion. The created mathematical models made it possible to numerically evaluate the temperature and field stability of multilayer film structures based on barium strontium compositions for their use as a basis for constructing a component base with electrical capacity adjustment.</p></sec></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>слоистая структура</kwd><kwd>сегнетоэлектрические конденсаторные структуры</kwd><kwd>вариконды</kwd></kwd-group><kwd-group xml:lang="en"><kwd>layered structure</kwd><kwd>ferroelectric capacitor structures</kwd><kwd>variconds</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Сегнетоэлектрики в технике СВЧ / Н. Н. Антонов, И. М. Бузин, О. Г. Вендик и др.; под ред. О. Г. Вендика. М.: Сов. радио, 1979. 272 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Antonov N. N., Buzin I. M., Vendik O. G. Segnetoelektriki v tekhnike SVCh [Ferroelectrics in Microwave Technology]. Ed. by O. G. Vendik. Moscow, Soviet Radio, 1979, 272 p. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Вербицкая Т. Н., Александрова Л. М., Широбокова Е. И. Электрические свойства пленочных варикондов с прямоугольной петлей гистерезиса // Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1965. Т. 29. С. 2104.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Verbitskaya T. N., Alexandrova L. M., Shirobokova E. I. Electrical Properties of Film Variconds with a Rectangular Hysteresis Loop. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 1965, vol. 29, p. 2104. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">СВЧ-свойства сегнетоэлектрических пленок с размытым фазовым переходом / О. Г. Вендик, С. П. Зубко, М. С. Гашинова, Н. Ю. Некрасова // Изв. вузов России. Радиоэлектроника. 2005. Вып.1. С. 15–19.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Vendik O. G., Zubko S. P., Gashinova M. S., Nekrasova N. Yu. SVCh-svoistva segnetoelektricheskikh plenok s razmytym fazovym perekhodom [Microwave Properties of Ferroelectric Films with a Blurred Phase Transition]. J. of the Russian Universities. Radioelectronics. 2005, iss. 1, pp. 15–19. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Вербицкая Т. Н. Титанат бария. М.: Наука, 1973. 273 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Verbitskaya T. N. Titanat bariya [Barium Titanate]. Moscow, Nauka, 1973, 273 p. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Диэлектрические свойства тонких пленок SrTiO3 и Sr0.5 Ba0.5TiO3 / Б. М. Гольцман, В. В. Леманов, А. И. Дедык, Л. Т. Тер-Мартиросян, С. Ф. Карманенко // ФТТ. 1996. Т. 38, вып. 8. С. 2493–2496.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Gol'tsman B. M., Lemanov V. V., Dedyk A. I., Ter-Martirosyan L. T., Karmanenko S. F. Electrical Properties of a Thin Layer of SrTiO3 and Sr0.5 Ba0.5TiO3. Physics of the Solid State, 1996, vol. 38, iss. 8, pp. 2493–2496. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Технология и диэлектрические свойства многослойных нанокомпозитных сегнетоэлектрических пленок / В. М. Балашов, И. Г. Мироненко, А. А. Иванов, А. И. Фирсенков, Д. В. Велькин, О. В. Яковлев, Н. А. Емельянов // Вопросы радиоэлектроники. 2018. № 1. С. 62–67.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Balashov V. M., Mironenko I. G., Ivanov A. A., Firsenkov A. I., Velkin D. V., Yakovlev O. V., Emelyanov N. A. Technology and Dielectric Properties of Nanocomposite Multilayer Ferroelectric Films. Questions of Radio Electronics. 2018, no. 1, pp. 62–67. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Применение наноразмерных пленок титаната бария-стронция для перестраиваемых сверхвысокочастотных устройств / Вас. М. Мухортов, С. И. Масычев, Ю. И. Головко, А. В. Чуб, В. М. Мухортов // ЖТФ. 2006. Т. 76, вып. 10. С. 106–109.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Mukhortov Vas. M., Masychev S. I., Golovko Yu. I., Chub A. V., Mukhortov V. M. Application of Nanoscale Films of Barium-Strontium Titanate for Tunable Ultrahigh Frequency Devices. Teсhnical Physics. 2006, vol. 76, iss. 10, pp. 106–109. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">СВЧ фазовращатель с планарными конденсаторами на основе пленок титаната стронция / А. Козырев, А. Иванов, О. Солдатенков, Е. Гольман, А. Прудан, В. Логинов // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25, вып. 20. С. 78–83.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Kozyrev A., Ivanov A., Soldatenkov O., Golman E., Prudan A., Loginov V. Microwave Phase Shifter with Planar Capacitors Based on Strontium Titanate Films. Technical Physics Let. 1999, vol. 25, iss. 20, pp. 78-83. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Composition-control of magnetron-sputterdeposited (BaxSr1-x)TiO3 thin films for voltage tunable devices / Im. Jaemo, O. Auciello, P. K. Baumann, S. K. Streiffer, D. Kaufman, A. R. Krauss // Appl. Phys. Let. 2000. Vol. 76. P. 625–627. doi: 10.1063/1.125839</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Jaemo Im., Auciello O., Baumann P. K., Streiffer S. K., Kaufman D., Krauss A. R. Compositioncontrol of Magnetron-Sputter-Deposited (BaxSr1-x)TiO3 Thin Films for Voltage Tunable Devices. Appl. Phys. Let. 2000, vol. 76, pp. 625–627. doi: 10.1063/1.125839</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">The fabrication and material properties of compositionally multilayered Ba1-xSrxTiO3 thin films for realization of temperature insensitive tunable phase shifter devices / M. W. Cole, E. Ngo, S. Hirsch, J. D. Demaree, S. Zhong, S. P. Alpay // J. Appl. Phys. 2007. Vol. 102. P. 034104. doi: 10.1063/1.2761849</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Cole M. W., Ngo E., Hirsch S., Demaree J. D., Zhong S., Alpay S. P. The Fabrication and Material Properties of Compositionally Multilayered Ba1-xSrxTiO3 thin Films for Realization of Temperature Insensitive Tunable Phase Shifter Devices. J. Appl. Phys. 2007, vol. 102, p. 034104. doi: 10.1063/1.2761849</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Сегнетоэлектрические пленки и устройства на сверх- и крайне высоких частотах / А. А. Иванов, И. Г. Мироненко, С. Ф. Карманенко и др. СПб.: Элмор, 2007. 162 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Ivanov A. A., Mironenko, I. G., Karmanenko S. F., Semenov A. A., Nazarov I. A. Segnetoelektricheskie plenki i ustroistva na sverkh- i kraine vysokikh chastotakh [Ferroelectric Films and Devices at Ultra- and Extremely High Frequencies]. St Petersburg, Elmore, 2007, 162 p. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Маркушевич А. И. Краткий курс теории аналитических функций. 4-е изд., испр. и доп. М.: Наука, 1978. 416 c.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Markushevich A. I. Kratkii kurs teorii analiticheskikh funktsii [A Short Course in the Theory of Analytical Functions]. 4th ed. Moscow, Nauka, 1978, 416 p. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Лавpeнтьев М. A., Шaбат Б. В. Методы теории функций комплексного переменного. M.: Наука, 1973. 736 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Lavpentyev M. A., Khabat B. V. Metody teorii funktsii kompleksnogo peremennogo [Methods of Theoretical Analysis]. Moscow, Nauka, 1973, 736 p. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Лаврентьев М. А. Конформные отображения. М.; Л.: Гостехиздат, 1946. 160 c.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Lavrentiev M. A. Konformnye otobrazheniya [Official Images]. Moscow; Leningrad, Gosizdat, 1946, 160 p. (In Russ.)</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit15"><label>15</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Layered planar capacitor based on BaxSr1-xTiO3 with variable parameter x / O. G. Vendik, S. P. Zubko, S. F. Karmanenko, M. A. Nikol’ski, N. N. Isakov, I. T. Serenkov, V. I. Sakharov // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 91, № 1. P. 331–335. doi: 10.1063/1.1421035</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Vendik O. G., Zubko S. P., Karmanenko S. F., Nikol’ski M. A., Isakov N. N., Serenkov I. T., Sakharov V. I. Layered Planar Capacitor Based on BaxSr1-xTiO3 with Variable Parameter x. J. Appl. Phys. 2002, vol. 91, no. 1, pp. 331–335. doi: 10.1063/1.1421035</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
