radioelectronicsИзвестия высших учебных заведений России. РадиоэлектроникаJournal of the Russian Universities. Radioelectronics1993-89852658-4794Saint Petersburg Electrotechnical University10.32603/1993-8985-2018-21-2-26-36radioelectronics-217Research ArticleПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВENGINEERING DESIGN AND TECHNOLOGIES OF RADIO ELECTRONIC FACILITIESМеханизмы формирования гетерофазных сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинцаFormation Mechanisms for Hetero-Phase Ferroelectric Films of Lead Zirconate TitanateМухинН. B.MukhinN. V.

Мухин Николай Вячеславович – кандидат технических наук, доцент кафедры квантовой электроники и оптико-электронных приборов 

ул. Профессора Попова, д. 5, Санкт-Петербург, 197376

Nikolay V. Mukhin – Ph.D. in Engineering, Associate Professor of the Department of Quantum Electronic and Optics Electronic Devices 

5, Professor Popov Str., 197376, St. Petersburg

muhinnv_leti@mail.ruЕланскаяК. Г.ElanskaiaK. G.

Еланская Кристина Геннадьевна – студентка 1-го курса магистратуры, инженер кафедры квантовой электроники и оптико-электронных приборов 

ул. Профессора Попова, д. 5, Санкт-Петербург, 197376

Kristina G. Elanskaia – Bachelor’s Degree in Electronics and Nanoelectronics, 1st year Master’s Degree student, engineer at the Department of Quantum Electronic and Optics Electronic Devices 

5, Professor Popov Str., 197376, St. Petersburg

k.elans@yandex.ruПуховаВ. М.PukhovaV. M.

Пухова Валентина Михайловна – Ph.D. (Миланский университет). Ассистент кафедры квантовой электроники и оптико-электронных приборов 

ул. Профессора Попова, д. 5, Санкт-Петербург, 197376

Valentina M. Pukhova – Ph.D. (2015) of University of Milan. Assistant Professor of the Department of Quantum Electronic and Optics Electronic Devices 

5, Professor Popov Str., 197376, St. Petersburg

pukhovavalentina@gmail.comТарасовС. А.TarasovS. A.

Тарасов Сергей Анатольевич – доктор технических наук, заведующий кафедрой квантовой электроники и оптико-электронных приборов 

ул. Профессора Попова, д. 5, Санкт-Петербург, 197376

Sergey A. Tarasov – D.Sc. in Engineering, Chief of the Department of Quantum Electronic and Optics Electronic Devices 

5, Professor Popov Str., 197376, St. Petersburg

SATarasov@mail.ruВоротиловК. А.VorotilovK. A.

Воротилов Константин Анатольевич – доктор технических наук, профессор кафедры наноэлектроники, директор НОЦ "Технологический центр"

пр. Вернадского, д. 78, Москва, 119454

Konstantin A. Vorotilov – D.Sc. in Engineering), Professor of the Department of Nanoelectronics in Moscow Technological University, head of SEC "Technological Center". 

78, Vernadskogo Pr., 119454, Moscow, Russia

vorotilov@mirea.ruРуденкоМ. В.RudenkoM. V.

Руденко Мария Владимировна – магистр по специальности "Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)", научный сотрудник НИЛ "Нанофотоника" НИЧ 

ул. П. Бровки, д. 6, Минск, 220013

Mariya V. Rudenko – Master’s Degree in Nanotechnologies and Nanomaterials (in Electronics), postgraduate student. Research Associate in the University Nanophotonics Laboratory 

6, Petrusya Bbrovki Str., 220013, Minsk, Republic of Belarus

rudmash@gmail.comЕрмачихинА. В.ErmachikhinA. V.

Ермачихин Александр Валерьевич – кандидат физико-математических наук, доцент кафедры микро- и наноэлектроники 

ул. Гагарина, д. 59, Рязань, 390005

Aleksandr V. Ermachikhin – Ph.D. in Physics and Mathematics. Senior scientist, Associate Professor of the Department of Micro-and Nanoelectronics 

59, Gagarin Str., 390005, Ryazan, Russia

al.erm@mail.ruСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)РоссияSaint Petersburg Electrotechnical University "LETI"Russian FederationМосковский технологический университетРоссияMoscow Technological UniversityRussian FederationБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиБеларусьBelorussian State University of Informatics and RadioelectronicsBelarusРязанский государственный радиотехнический университетРоссияRyazan State Radio Engineering UniversityRussian Federation201828042018022636Copyright © Мухин Н.B., Еланская К.Г., Пухова В.М., Тарасов С.А., Воротилов К.А., Руденко М.В., Ермачихин А.В., 20182018Мухин Н.B., Еланская К.Г., Пухова В.М., Тарасов С.А., Воротилов К.А., Руденко М.В., Ермачихин А.В.Mukhin N.V., Elanskaia K.G., Pukhova V.M., Tarasov S.A., Vorotilov K.A., Rudenko M.V., Ermachikhin A.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://re.eltech.ru/jour/article/view/217

Проведено экспериментальное и теоретическое изучение процессов образования включений "примесных" фаз в сегнетоэлектрических оксидах на примере поликристаллических пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС). Особенностью данных составов является сравнительно высокая летучесть оксидов свинца, что может приводить к дефициту этих компонентов в составе формируемой сегнетоэлектрической пленки в ходе высокотемпературной кристаллизации. Чтобы избежать потери свинца, в процессе синтеза в раствор добавляют его некоторый избыток. Экспериментальные образцы пленок ЦТС были получены золь-гель-методом с различным содержанием оксида свинца, кристаллизация сегнетоэлектрической фазы пленок осуществлялась на воздухе при температуре 600 °C. В пленках обнаружены включения примесной фазы оксида свинца, получено распределение включений по размерам. Изложены модельные представления и предложена система уравнений, описывающие кинетику образования дисперсных включений новых фаз различного стехиометрического состава на границах раздела в поликристаллических пленках многокомпонентных сегнетоэлектрических оксидов за счет процессов объемной диффузии и зернограничной сегрегации. Сопоставление экспериментальных данных с теоретической моделью дало согласие на качественном уровне. Общность подхода позволяет распространить модель на другие системы многокомпонентных сегнетоэлектрических поликристаллических материалов.

An experimental and theoretical study of the formation processes of "impurity" phase inclusions in ferroelectric oxides is carried out via example of polycrystalline lead zirconate-titanate (PZT) films. A feature of these compositions is relatively high volatility of lead oxides, which can lead to deficiency of these components in the composition of the ferroelectric film formed during high-temperature crystallization. To avoid lead losses, some excess is added to the solution in the process of synthesis. Experimental samples of PZT films are obtained using sol-gel method with different contents of lead oxide, the crystallization of the ferroelectric phase of the films is carried out in air at 600 °C. In the films, the inclusions of lead oxide impurity phase are found, and the size distribution of these inclusions are obtained. Model concepts are presented and a system of equations is proposed describing the dispersed inclusions formation kinetics of new phases of different stoichiometric composition at the interfaces in polycrystalline films of multicomponent ferroelectric oxides due to bulk diffusion and grain-boundary segregation. Comparison of the experimental data with the theoretical model gives qualitative agreement. The approach generality makes it possible to extend the model to other systems of multicomponent ferroelectric polycrystalline materials.

цирконат-титанат свинцаоксид свинцаперовскитыполикристаллические пленкидисперсные включениянестехиометрияlead zirconate titanatelead oxideperovskitespolycrystalline filmsdispersed inclusionsnonstoichiometryРоссийский фонд фундаментальных исследований (грант № 17-52-04127).ReferencesФизика сегнетоэлектриков: современный взгляд / пер. с англ.; под ред. К. М. Рабе, Ч. Г. Анна, Ж. М. Трискона. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. 440 с.Physics of Ferroelectrics : a Modern Perspective. Ed. by K. M. Rabe, Ch. H. Ahn; J.-M. Triscone. Topics in Applied Physics. Berlin, Springer, 2007, vol. 105, рp.1–30.Воротилов К. А., Мухортов В. М., Сигов А. С. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства / под ред. А. С. Сигова. М.: Энергоатомиздат, 2011. 175 с.Vorotilov K. A., Mukhortov V. M., Sigov A. S. Integrirovannye segnetojelektricheskie ustrojstva [Integrated Ferroelectric Devices]. Мoscow, Jenergoatomizdat, 2011, 175 p. (In Russian)PZT-Based Piezoelectric MEMS Technology / G. L. Smith, J. S. Pulskamp, L. M. Sanchez, D. M. Potrepka, R. M. Proie, T. G. Ivanov, R. Q. Rudy, W. D. Nothwang, S. S. Bedair, C. D. Meyer, R. G. Polcawich // J. of the American Ceramic Society. 2012. Vol. 95. P. 1777–1792.Smith G. L., Pulskamp J. S., Sanchez L. M., Potrepka D. M., Proie R. M., Ivanov T. G., Rudy R. Q., Nothwang W. D., Bedair S. S., Meyer C. D., Polcawich R. G. PZTBased Piezoelectric MEMS Technology. Journal of the American Ceramic Society. 2012, vol. 95, pp. 1777–1792.Формирование и свойства пористых пленок цирконата-титаната свинца / Д. С. Серегин, К. А. Воротилов, А. С. Сигов, Е. Н. Зубкова, Д. А. Абдуллаев, Н. М. Котова, А. С. Вишневский // Физика твердого тела. 2015. Т. 57, вып. 3. С. 487–490.Seregin D. S., Vorotilov K. A., Sigov A. S., Zubkova E. N., Abdullaev D. A., Kotova N. M., Vishnevskij A. S. Formation and Properties of Porous Zirconate-Titanate Films of Lead. Fizika tverdogo tela [Physics of the Solid State]. 2015, vol. 57, iss. 3, pp. 487–490. (In Russian)SAW Based Phononic Crystal Sensor, Technological Challenges and Solutions / M.-P. Schmidt, A. Oseev,Lucklum, M. Zubtsov, S. Hirsch // Microsystem Technologies. 2016. Vol. 22, iss. 7. P 1593–1599.Schmidt M.-P., Oseev A., Lucklum R., Zubtsov M., Hirsch S. SAW Based Phononic Crystal Sensor, Technological Challenges and Solutions. Microsystem Technologies. 2016, vol. 22, iss. 7, pp. 1593–1599.Towards a SAW Based Phononic Crystal Sensor Platform / R. Lucklum, M. Zubtsov, A. Oseev, M.-P. Schmidt, S. Hirsch, F. Hagemann // Joint European Frequency and Time Forum and International Frequency Control Symposium (EFTF/IFC), Prague, July 21–25, 2013. Piscataway: IEEE, 2013. P. 69–72. (Art. number 6702207)Lucklum R., Zubtsov M., Oseev A., Schmidt M.-P., Hirsch S., Hagemann F. Towards a SAW Based Phononic Crystal Sensor Platform. Joint European Frequency and Time Forum and International Frequency Control Symposium (EFTF/IFC), Prague, July 21–25, 2013. Piscataway: IEEE, 2913, pp. 69–72. (Art. number 6702207).Selective Normal Mode Excitation in Multilayer Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonators / A. Kozyrev, A. Mikhailov, S. Ptashnik, P. K. Petrov, N. Alford // Applied Physics Letters. 2014. Vol. 105. P. 162910(1–3).Kozyrev A., Mikhailov A., Ptashnik S., Petrov P. K., Alford N. Selective Normal Mode Excitation in Multilayer Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonators. Applied Physics Letters. 2014, vol. 105, pp. 162910(1–3).Microwave Emission From Lead Zirconate Titanate Induced by Impulsive Mechanical Load / A. Aman, S. Majcherek, S. Hirsch, B. Schmidt // J. of Applied Physics. 2015. Vol. 118. P. 164105(1–7).Aman A., Majcherek S., Hirsch S., Schmidt B. Microwave Emission From Lead Zirconate Titanate Induced by Impulsive Mechanical Load. Journal of Applied Physics. 2015, vol. 118, pp. 164105(1–7).Composition, Structure and Mechanical Properties of the Titanium Surface after Induction Heat Treatment Followed by Modification with Hydroxyapatite Nanoparticles /A. Fomin, S. Dorozhkin, M. Fomina, V. Koshuro, I. Rodionov, A. Zakharevich, N. Petrova, A. Skaptsov // Ceramics International. 2016. Vol. 42, iss. 9. P. 10838–10846.Fomin A., Dorozhkin S., Fomina M., Koshuro V., Rodionov I., Zakharevich A., Petrova N., Skaptsov A. Composition, Structure and Mechanical Properties of the Titanium Surface after Induction Heat Treatment Followed by Modification with Hydroxyapatite Nanoparticles. Ceramics International. 2016, vol. 42, iss. 9, pp. 10838–10846.Nanostructure of Composite Bioactive Titania Coatings Modified with Hydroxyapatite in Medical Titanium Implants / A. A. Fomin, A. B. Steinhauer, I. V. Rodionov, N. V. Petrova, A. M. Zakharevich, A. A. Skaptsov, A. N. Gribov // Biomedical Engineering. 2013. Vol. 47, № 3. P. 138–141.Fomin A. A., Steinhauer A. B., Rodionov I. V., Petrova N. V., Zakharevich A. M., Skaptsov A. A., Gribov A. N. Nanostructure of Composite Bioactive Titania Coatings Modified with Hydroxyapatite in Medical Titanium Implants. Biomedical Engineering. 2013, vol. 47, no. 3, pp. 138–141.Технология, свойства и применение сегнетоэлектрических пленок и структур на их основе / под ред. В. П. Афанасьева, А. Б. Козырева. СПб.: Элмор, 2007. 248 с.Tehnologija, svojstva i primenenie segnetojelektricheskih plenok i struktur na ih osnove [Technology, Properties and Applications of Ferroelectric Films and Ferroelectric-Based Structures]. Ed. by V. P. Afanas'ev, A. B. Kozyrev. SPb, Jelmor, 2007, 248 p. (In Russian)Александров К. С., Безносиков Б. В. Перовскиты. Настоящее и будущее. (Многообразие парафаз, фазовые превращения, возможности синтеза новых соединений). Новосибирск: СО РАН, 2004. 231 с.Aleksandrov K. S., Beznosikov B. V. Perovskity. Nastojashhee i budushhee. (Mnogoobrazie parafaz, fazovye prevrashhenija, vozmozhnosti sinteza novyh soedinenij) [Perovskites. Present and Future. (Variety of Paraphase, Phase Transformations, Possibilities for New Compound Synthesis)]. Novosibirsk, SO RAN, 2004, 231 p. (In Russian)Фесенко Е. Г. Семейство перовскита и сегнетоэлектричество. М.: Атомиздат, 1972. 248 с.Fesenko E. G. Semejstvo perovskita i segnetojelektrichestvo [Perovskite Family and Ferroelectricity]. Мoscow, Atomizdat, 1972, 248 p. (In Russian)Приседский В. В. Нестехиометрические сегнетоэлектрики АIIВIVО3. Донецк: Ноулидж, 2011. 268 с.Prisedskij V. V. Nestehiometricheskie segnetojelektriki AIIVIVO3 [Non-stoichiometric ferroelectrics AIIBIVO3]. Donetsk, Noulidzh, 2011, 268 p. [In Russian]Sanjeev A., Ramesh R. Point Defect Chemistry of Metal Oxide Heterostructures // Ann. Rev. of Materials Research. 1998. Vol. 28. P. 463–499.Sanjeev A., Ramesh R. Point Defect Chemistry of Metal Oxide Heterostructures. Ann. Rev. of Materials Research. 1998, vol. 28, pp. 463–499.Структурные свойства пленочного титаната бария-стронция в зависимости от технологических условий роста пленок / А. В. Тумаркин, В. И. Альмяшев, С. В. Разумов, М. М. Гайдуков, А. Г. Гагарин, А. Г. Алтынников, А. Б. Козырев // Физика твердого тела. 2015. Т. 57, вып. 3. С. 540–544.Tumarkin A. V., Al'mjashev V. I., Razumov S. V., Gajdukov M. M., Gagarin A. G., Altynnikov A. G., Kozyrev A. B. Structural Properties of Barium Strontium Barium Titanate Depending on the Technological Conditions for Film Growth. Fizika tverdogo tela [Physics of the Solid State]. 2015, vol. 57, no. 3, pp. 540–544.Phase Formation Of BaTiO3–Bi(Zn1/2Ti1/2)O3 Perovskite Ceramics / N. Triamnak, G. L. Brennecka, H. J. BrownShaklee, M. A. Rodriguez, D. P. Cann // J. Of The Ceramic Society Of Japan. 2014. Vol. 122, № 1424. P. 260–266.Triamnak N., Brennecka G. L., Brown-Shaklee H. J., Rodriguez M. A., Cann D. P. Phase Formation Of BaTiO3– Bi(Zn1/2Ti1/2)O3 Perovskite Ceramics. Journal Of The Ceramic Society Of Japan. 2014, vol. 122, no. 1424, pp. 260–266.Hirose K., Lay T. Discovery of Post-Perovskite and New Views on the Core–Mantle Boundary Region // Elements. 2008. Vol. 4. P. 181–186.Hirose K., Lay T. Discovery of Post-Perovskite and New Views on the Core–Mantle Boundary Region. Elements. 2008, vol. 4, pp. 181–186.Chemistry of the Fe2O3/BiFeO3 Interface in BiFeO3 Thin Film Heterostructures / M. Arredondo, Q. M. Ramasse, K. Bogle, V. Nagarajan // Materials. 2010. Vol. 3. P. 5274–5282.Arredondo M., Ramasse Q. M., Bogle K., Nagarajan V. Chemistry of the Fe2O3/BiFeO3 Interface in BiFeO3 Thin Film Heterostructures. Materials. 2010, vol. 3, pp. 5274–5282.Cavalheiro A. A., Barrionuevo S. M., Bruno J. C. Effect of PbO excess on the formation of lead magnesium niobate perovskite by the columbite method // Mater Chem phys. 2004. Vol. 84. P. 107–111.Cavalheiro A. A., Barrionuevo S. M., Bruno J. C. Effect of PbO Excess on the Formation of Lead Magnesium Niobate Perovskite by the Columbite Method. Mater Chem phys. 2004, vol. 84, pp. 107–111.Руденко М. В., Гапоненко Н. В. Зависимость структуры и морфологии танталата стронция висмута от температуры термообработки // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: сб. тр. IX Междунар. конф., СПб., 7–10 июля 2014 г. СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2014. С. 292–293.Rudenko M. V., Gaponenko N. V. Zavisimost' struktury i morfologii tantalata stroncija vismuta ot temperatury termoobrabotki [Dependence of Bismuth Tantalate of Strontium Structure and Morphology on Heat Treatment Temperature]. Amorfnye i mikrokristallicheskie poluprovodniki: sbornik trudov IX Mezhdunarodnoj konferencii [Amorphous and Microcrystalline Semiconductors: a Collected works of the IX International Conference]. SPb, Izd-vo Politehnicheskogo universiteta, 2014, pp. 292–293. (In Russian)Петров А. А. Гетерофазные границы раздела в поликристаллических пленках и структурах на их основе. СПб.: Литера, 2008. 196 с.Petrov A. A. Geterofaznye granicy razdela v polikristallicheskih plenkah i strukturah na ih osnove [Heterophase interfaces in polycrystalline films and structures based on them]. SPb, Litera, 2008, 196 p. (In Russian)Влияние оксида свинца на диэлектрические характеристики гетерогенных пленок Pb(Zr,Ti)O3 + PbO, полученных двухстадийным способом / С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, О .Н. Сергеева, Н. А. Ильин, В. П. Пронин // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39, вып. 8. С. 86–94.Senkevich S. V., Pronin I. P., Kaptelov E. Ju., Sergeeva O .N., Il'in N. A., Pronin V. P. Lead oxide effect on dielectric characteristics of heterogeneous Pb(Zr,Ti)O3 + PbO films obtained in a two-step process. Pis'ma v ZhTF [Technical Physics Letters]. 2013, vol. 39, no. 8, pp. 86–94. (In Russian)Тонкопленочный конденсатор M/Pb(Ti,Zr)O3/M как поляризационно-чувствительный фотоэлемент / Л. А. Делимова, В. С. Юферев, И. В. Грехов, А. А. Петров, К. А. Федоров, В. П. Афанасьев // Физика твердого тела. 2009. Т. 51, № 6. С. 1149–1153.Delimova L. A., Yuferev V. S., Grekhov I. V., Petrov A. A., Fedorov K. A., Afanas'ev V. P. Thin-Film Capacitor M/Pb(Ti,Zr)O3/M as a Polarization-Sensitive Photocell. Fizika tverdogo tela [Physics of the Solid State]. 2009, vol. 51, no. 6, pp. 1149–1153. (In Russian)Структурные особенности пленок цирконататитаната свинца, сформированных методом химического осаждения из растворов с различным содержанием свинца / О. М. Жигалина, К. А. Воротилов, Д. Н. Хмеленин, А. С. Сигов // Нанои микросистемная техника. 2008. № 11. С. 17–22.Zhigalina O. M., Vorotilov K. A., Khmelenin D. N., Sigov A. S. Structural Features of Zirconate-Lead Titanate Films Formed by Chemical Precipitation from Solutions with Various Lead Contents. Nanoi mikrosistemnaya tekhnika [NanoAnd Microsystems Technology]. 2008, no. 11, pp. 17–22. (In Russian)Афанасьев В. П., Воротилов К. А., Мухин Н. В. Влияние условий синтеза на свойства поликристаллических пленок ЦТС нестехиометрических составов // Физика и химия стекла. 2016. Т. 42, № 3. С. 410–419.Afanas'ev V. P., Vorotilov K. A., Mukhin N. V. Synthesis Condition Influence on Properties of Polycrystalline PZT Films of Nonstoichiometric Compositions. Fizika i khimiya stekla [Glass Physics and Chemistry]. 2016, vol. 42, no. 3, pp. 410–419. (In Russian)Мухин Н. В. Модель диффузии собственных дефектов в пленках цирконата-титаната свинца при термообработке на воздухе // Физика и химия стекла. 2014. Т. 40, № 2. С. 327–333.Mukhin N. V. Diffusion of Intrinsic Defects in Zirconate-Lead Titanate Films in the Process of Heat Treatment in Air. Fizika i khimiya stekla [Glass Physics and Chemistry]. 2014, vol. 40, no. 2, pp. 327–333. (In Russian)Мухин Н. В. Кинетика образования зернограничных включений оксида свинца в пленках цирконата-титаната свинца // Физика и химия стекла. 2016. Т. 42, № 1. С. 89–96.Mukhin N. V. Formation Kinetics of GrainBoundary Inclusions of Lead Oxide in Zirconate-Titanate Films of Lead. Fizika i khimiya stekla [Glass Physics and Chemistry]. 2016, vol. 42, no. 1, pp. 89–96. (In Russian)Воротилов К. А., Мухин Н. В. Влияние условий формирования пленок ЦТС с разным содержанием свинца на их сегнетоэлектрические свойства // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2014. Т. 14, № 3. С. 185–188.Vorotilov K. A., Mukhin N. V. Influence of Formation Conditions of PZT Films with Different Lead Content on Their Ferroelectric Properties. Fundamental'nye problemy radioelektronnogo priborostroeniya [Fundamental Problems of Radioelectronic Instrumentation]. 2014, vol. 14, no. 3, pp. 185–188. (In Russian)Formation and Properties of PZT-PbO Thin Heterophase Films / V. P. Afanasjev, D. A. Chigirev, N. V. Mukhin, A. A. Petrov // Ferroelectrics. 2016. Vol. 496, iss. 1. P. 170–176.Afanasjev V. P., Chigirev D. A., Mukhin N. V., Petrov A. A. Formation and Properties of PZT-PbO Thin He terophase Films. 2016, vol. 496, iss. 1, pp. 170–176.Формирование золь-гель методом и свойства тонких пленок танталата стронция висмута / М. В. Руденко, Н. В. Гапоненко, В. Г. Литвинов, Н. В. Мухин, Л. С. Хорошко, А. В. Ермачихин, А. Г. Алтынников // Докл. БГУИР. 2015. № 6 (92). С. 61–64.Rudenko M. V., Gaponenko N. V., Litvinov V. G., Mukhin N. V., Khoroshko L. S., Ermachikhin A. V., Altynnikov A. G. Formation of Sol-Gel Method and Properties of Thin Films of Bismuth Tantalate Strontium. Doklady BGUIR [Reports of BSUIR]. 2015, № 6 (92), рр. 61–64. (In Russian)Воротилов К. А., Мухин Н. В. Особенности дефектообразования в нестехиометрических наноразмерных пленках ЦТС при их формировании зольгель методом // Наноматериалы и наноструктуры – XXI век. 2014. № 3. С. 18–22.Vorotilov K. A., Mukhin N. V. Peculiarities of Defect Formation in Nonstoichiometric Nanosized PZT Films with Their Formation using Sol-Gel Method. Nanomaterialy i nanostruktury – XXI vek [Journal Nanomaterials and Nanostructures – XXI Century]. 2014, no. 3, pp. 18–22. (In Russian)Allen T. Particle Size Measurement. London: Chapman and Hall, 1981. 678 p.Allen T. Particle Size Measurement. London, Chapman and Hall, 1981, 678 p.Коропов А. В. Морфологическая устойчивость двумерного выделения новой фазы, расположенного на межзеренной границе // Журн. техн. физики. 2011. Т. 81, вып. 12. С. 83–88.Koropov A. V. Morphological Stability of TwoDimensional Isolation of a New Phase Located On the Grain Boundary. Zhurnal tekhnicheskoi fiziki [Technical Physics. The Russian Journal of Applied Physics]. 2011, vol. 81, no. 12, pp. 83–88. (In Russian)Кукушкин С. А., Слезов В. В. Дисперсионные системы на поверхности твердых тел (эволюционный подход), механизмы образования тонких пленок. СПб.: Наука, 1996. 304 с.Kukushkin S. A., Slezov V. V. Dispersionnye sistemy na poverkhnosti tverdykh tel (evolyutsionnyi podkhod) mekhanizmy obrazovaniya tonkikh plenok [Dispersion Systems on Solid Surfaces (Evolutionary Approach) Mechanisms for Thin Film Formation]. SPb, Nauka, 1996, 304 p. (In Russian)Слезов В. В., Давыдов Л. Н., Рогожкин В. В. Кинетика сегрегации примеси на границах зерен в поликристаллах. II. Концентрированный раствор // Физика твердого тела. 1998. Т. 40, № 2. С. 251–253.Slezov V. V., Davydov L. N., Rogozhkin V. V. Kinetics of impurity segregation at grain boundaries in polycrystals. II. Concentrated solution. Fizika tverdogo tela [Physics of the Solid State]. 1998, vol. 40, no. 2, pp. 251–253. (In Russian)Иванова Т. Б., Васькин В. В. Обобщенная модель кинетики образования новой фазы // Вестн. удмуртского ун-та. Компьютерные науки. 2009. Вып. 2. С. 110–117.Ivanova T. B., Vas'kin V. V. Generalized Model of New Phase Formation Kinetics. Vestnik udmurtskogo univesiteta. Komp'yutornye nauki [The Bulletin of Udmurt University. Mathematics. Mechanics. Computer Science]. 2009, no. 2, pp. 110–117. (In Russian)Извозчиков В. А., Тимофеев О. А. Фотопроводящие окислы свинца в электронике. Л.: Энергия, 1979. 144 с.Izvozchikov V. A., Timofeev O. A. Fotoprovodyashchie okisly svintsa v elektronike [Photoconductive Lead Oxides in Electronics]. Leningrad, Energiya, 1979, 144 p. (In Russian)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.