radioelectronicsИзвестия высших учебных заведений России. РадиоэлектроникаJournal of the Russian Universities. Radioelectronics1993-89852658-4794Saint Petersburg Electrotechnical University10.32603/1993-8985-2026-29-2-91-103radioelectronics-1134Research ArticleКВАНТОВАЯ, ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ, ПЛАЗМЕННАЯ И ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОНИКАQUANTUM, SOLID-STATE, PLASMA AND VACUUM ELECTRONICSФормирование и исследование фотокаталитических пленок диоксида титана, а также их применение в области очистки воды и воздухаSynthesis, Characterization and Application of Photocatalytic Titanium Dioxide Films for Water and Air Purificationhttps://orcid.org/0000-0002-8222-2824ШашинД. Е.ShashinD. E.

Шашин Дмитрий Евгеньевич – кандидат технических наук (2020), доцент (2024), заведующий кафедрой конструирования и производства радиоаппаратуры. Автор более 90 научных работ. Сфера научных интересов – микро- и наноэлектроника; фото-катализ; самораспространяющийся высокотемпературный синтез.

пл. Ленина, д. 3, Йошкар-Ола, 424000

Dmitry E. Shashin, Cand. Sci. (2020), Associate Professor (2024), Head of the Department of Radio Equipment Design and Production. The author of more than 90 publications. Area of expertise: micro- and nanoelectronics; photocatalysis; and self-propagating high-temperature synthesis.

Lenin Square, Yoshkar-Ola 424000

ShashinDE@volgatech.nethttps://orcid.org/0009-0007-6286-8330ДьячковА. Д.DyachkovA. D.

Дьячков Алексей Дмитриевич – магистр по направлению "Электроника и наноэлектроника" (2023, Поволжский государственный технологический университет), аспирант кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры. Автор более 20 научных работ. Сфера научных интересов – микро- и наноэлектроника; фотокатализ.

пл. Ленина, д. 3, Йошкар-Ола, 424000

Alexey D. Dyachkov, Master's degree in electronics and nanoelectronics (2023, Volga State University of Technology), Postgraduate student of the Department of Radio Equipment Design and Manufacturing of Volga State University of Technology (Yoshkar-Ola). The author of more than 20 scientific publications. Area of exper-tise: micro- and nanoelectronics; photocatalysis.

Lenin Square, Yoshkar-Ola 424000

addyachkov@gmail.comhttps://orcid.org/0009-0007-9981-511XРомановА. Л.RomanovA. L.

Романов Алексей Леонидович – бакалавр по направлению "Электроника и наноэлектроника" (2024, Поволжский государственный технологический университет), заведующий лабораторией кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры. Автор более 20 научных работ. Сфера научных интересов – микро- и наноэлектроника; тонкопленочные структуры.

пл. Ленина, д. 3, Йошкар-Ола, 424000

Alexey L. Romanov, Bachelor's degree in electronics and nanoelectronics (2024, Volga State University of Technology), Head of laboratory of the Department of Radio Equipment Design and Manufacturing. The author of more than 20 scientific publications. Area of expertise: micro- and nanoe-lectronics; thin film structures.

Lenin Square, Yoshkar-Ola 424000

romanov.tan2014@yandex.ruhttps://orcid.org/0000-0002-5146-8549КостикН. Р.KostikN. R.

Костик Никита Русланович – кандидат технических наук (2024), доцент кафедры фотоники. Автор более 20 научных работ. Сфера научных интересов – возобновляемая энергетика; технико-экономический анализ методов повышения эффективности гибридных систем ВИЭ; фотовольтаика.

ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022

Nikita R. Kostik, Cand. Sci. (2024), Associate Professor of the Department of Photonics. The author of more than 10 scientific publications. Area of expertise: renewable energy; feasibility studies for improving the efficiency of hybrid renewable energy systems; and photovoltaics.

5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022

nrkostik@etu.ruhttps://orcid.org/0000-0002-6321-0019ТарасовС. А.TarasovS. A.

Тарасов Сергей Анатольевич – доктор технических наук (2016), заведующий кафедрой фотоники. Автор более 200 научных работ. Сфера научных интересов – электроника; фотоника; солнечная энергетика; физика и оптика полупроводников; светоизлучающие и фоточувствительные приборы.

ул. Профессора Попова, д. 5 Ф, Санкт-Петербург, 197022

Sergey A. Tarasov, Dr Sci. (Eng.) (2016), Head of the Department. The author of more than 200 scientific publications. Area of expertise: electronics; photonics; solarenergy; physics and optics of semiconductors; light-emitting and photosensitive devices.

5 F, Professor Popov St., St Petersburg 197022

satarasov@etu.ruhttps://orcid.org/0000-0003-4470-2779ИльинМ. Е.IlyinM. E.

Ильин Матвей Евгеньевич – бакалавр по направлению "Фотоника и оптоинформатика" (2024, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)), магистрант кафедры фотоники. Лаборант-исследователь Петербургского института ядерной физики им. Б. П. Константинова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт". Автор пяти научных публикаций. Сфера научных интересов – нанотехнологии; фотоника; жидкие кристаллы; фуллерены и др. наночастицы; взаимодействие лазерного излучения с веществом; граница раздела; покрытия.

мкр. Орлова роща, д. 1, Гатчина, 188300

Matvey E. Ilyin, Bachelor's degree in Photonics and Optoinformatics (2024, Saint Petersburg Electrotechnical University), Master of the Department of Photonics of Saint Petersburg Electrotechnical University. Laboratory researcher of the Petersburg Nuclear Physics Institute named by B. P. Konstantinov of National Research Centre "Kurchatov Institute". The author of 5 scientific publications. Area of expertise: nanotechnology; photonics; liquid crystals; fullerenes; etc. nanoparticles; interaction of laser radiation with matter; interface, coatings.

Orlova Roshcha microdistrict, 1

ilin_matwei@mail.ruhttps://orcid.org/0000-0002-2903-2685КаманинаН. В.KamaninaN. V.

Каманина Наталия Владимировна – доктор физико-математических наук (2001), начальник отдела "Фотофизика наноструктурированных материалов и устройств" АО "НПО Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова" (Санкт-Петербург), профессор (2001) кафедры фотоники Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина), ведущий научный сотрудник Петербургского института ядерной физики им. Б. П. Константинова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" (Гатчина). Автор более 340 научных работ. Сфера научных интересов: фотофизика; нанотехнологии; наночастицы и нанотрубки; полимеры; жидкие кристаллы; покрытия; взаимодействие излучения с веществом.

мкр. Орлова роща, д. 1, Гатчина, 188300

Natalia V. Kamanina, Dr Sci. (Phys.-Math.) (2001), Head of the Department of Photophysics of nanostructured materials and devices of Joint Stock Company "Research and Production Corporation n. a. S. I. Vavilov", Professor (2001) of the Department of Photonics of Saint Petersburg Electrotechnical University, Lead Researcher of the Petersburg Nuclear Physics Institute named by B. P. Konstantinov of National Research Centre "Kurchatov Institute". The author of 340 scientific publications. Area of expertise: photophysics; nanotechnology; nanoparticles and nanotubes; polymers; liquid crystals; coatings; interaction of radiation with matter.

Orlova Roshcha microdistrict, 1, Gatchina 188300

Поволжский государственный технологический университетРоссияVolga State University of TechnologyRussian FederationСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)РоссияSaint Petersburg Electrotechnical UniversityRussian FederationСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина); Петербургский институт ядерной физики им. Б. П. Константинова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт"РоссияSaint Petersburg Electrotechnical University; Petersburg Nuclear Physics Institute named by B. P. Konstantinov of National Research Centre "Kurchatov Institute"Russian FederationСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина); Петербургский институт ядерной физики им. Б. П. Константинова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт"; АО "НПО ГОИ им. С. И. Вавилова"РоссияSaint Petersburg Electrotechnical University; Petersburg Nuclear Physics Institute named by B. P. Konstantinov of National Research Centre "Kurchatov Institute"; Joint Stock Company "Research and Production Corporation n. a. S. I. Vavilov"Russian Federation20262604202629291103Copyright © Шашин Д.Е., Дьячков А.Д., Романов А.Л., Костик Н.Р., Тарасов С.А., Ильин М.Е., Каманина Н.В., 20262026Шашин Д.Е., Дьячков А.Д., Романов А.Л., Костик Н.Р., Тарасов С.А., Ильин М.Е., Каманина Н.В.Shashin D.E., Dyachkov A.D., Romanov A.L., Kostik N.R., Tarasov S.A., Ilyin M.E., Kamanina N.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://re.eltech.ru/jour/article/view/1134

Введение. В настоящее время ведется интенсивный поиск и исследование сред, позволяющих создавать современные газовые сенсоры, а также устройства для очистки воды и воздуха. Среди различных методов очистки воздуха и воды именно фотокатализ занимает перспективное место. Из множества материалов с данным эффектом, благодаря своим свойствам, сильно выделяется диоксид титана. Самый подходящий для получения данного материла метод – реактивное магнетронное распыление.Цель работы. Изучение влияния параметров метода синтеза на варьирование эффективности фотокатализатора на основе TiO2 для его дальнейшего применения в области очистки воды и использования в качестве газовых сенсоров.Материалы и методы. В ходе работы были получены две серии по 5 образцов. При получении первой серии варьировалось время напыления (3, 7, 10, 15, 30 мин), а при получении второй – соотношение аргона и кислорода в реактивной смеси (90/10, 70/30, 50/50, 30/70, 10/90 %). Далее каждый образец из обеих серий подвергался облучению в течение 2 ч, а затем исследовался на гидрофильность с помощью прибора ОСА 15 ЕС.Результаты. По результатам исследования были получены две зависимости, а именно: краевого угла смачивания от времени напыления и угла смачивания от содержания кислорода в реактивной смеси. Было выявлено, что данный метод подходит для получения фотокаталитических пленок диоксида титана. Показано, что при увеличении толщины пленки показатель краевого угла смачивания колеблется в пределах от 37 до 45º. Увеличение времени напыления в 10 раз (3 мин против 30 мин) не вызвало каких-то серьезных различий в фотокаталитических и гидрофильных свойствах двух данных образцов. Экспериментально доказано, что наиболее фотоактивные пленки можно синтезировать при соотношении Ar/O2 90/10 и 10/90 %.Заключение. Результаты описываемой работы доказывают, что уже на данном этапе разработанную фотокаталитическую пленку диоксида титана вполне можно рекомендовать для решения ряда задач по очистке воды и применения в качестве газовых сенсоров.

Introduction

Introduction. Intensive research is currently focused on identifying materials suitable for the development of ad-vanced gas sensors and systems for water and air purification. Among the diversity of purification approaches, photocatalysis is viewed as a particularly promising method. Considering various potential materials, titanium dioxide stands out due to its physicochemical properties. Reactive magnetron sputtering is considered one of most effective techniques for titanium dioxide deposition.

Aim

Aim. To investigate the influence of synthesis parameters on the efficiency of a TiO2-based photocatalyst for its further application in water purification and gas sensing.

Materials and methods

Materials and methods. Two series of five samples each were manufactured. In the first series, the sputtering duration was varied (3, 7, 10, 15, 30 min). In the second series, the argon-to-oxygen ratio in the reactive mixture was varied (90/10, 70/30, 50/50, 30/70, 10/90%). Subsequently, all samples in both series were irradiated for 2 h and then evaluated for hydrophilicity using an OSA 15 EC device.

Results

Results. Two dependencies, i.e., the contact angle as a function of sputtering duration and the contact angle as a function of oxygen content in the reactive mixture, were established. The employed method was found to be suitable for depositing photocatalytic titanium dioxide films. Upon an increase in film thickness, the contact angle index varies within 37 and 45º. A 10-fold increase in sputtering duration (from 3 to 30 min) caused no significant differences in the photocatalytic and hydrophilic properties of the samples. It was experimentally established that the most photoactive films are synthesized at Ar/O2 ratios of 90/10 and 10/90%.

Conclusion

Conclusion. The developed photocatalytic titanium dioxide film can be recommended for a number of water purification tasks and for use in gas sensors.

тонкие пленкидиоксид титанамагнетронное распылениефотокатализгидрофильностьсмачиваемостьthin filmstitanium dioxidemagnetron sputteringphotocatalysishydrophilicitywettabilityReferencesAg decorated ZnO nanocrystallines synthesized by a lowtemperature solvothermal method and their application for high response H2 gas sensor / Z. Li, G. Zhang, W. Gao, R. Zhao, Y. Wang // J. of Materials Science: Materials in Electronics. 2019. Vol. 30, № 20. P. 18959–18969. doi: 10.1007/s10854019022535Li Z., Zhang G., Gao W., Zhao R., Wang Y. Ag Decorated ZnO Nanocrystallines Synthesized by a Low-Temperature Solvothermal Method and Their Application for High Response H2 Gas Sensor. J. of Materials Science: Materials in Electronics. 2019, vol. 30, no. 20, pp. 18959–18969. doi: 10.1007/s10854-019-02253-5Sputtered SnO2/ZnO heterostructures for improved NO2 gas sensing properties / B. Sharma, A. Sharma, M. Joshi, J.H. Myung // Chemosensors. 2020. Vol. 8, № 3. Art. № 67. doi: 10.3390/chemosensors8030067Sharma B., Sharma A., Joshi M., Myung J.-H. Sputtered SnO2/ZnO Heterostructures for Improved NO2 Gas Sensing Properties. Chemosensors. 2020, vol. 8, no. 3, art. no. 67. doi: 10.3390/chemosensors8030067Synthesis of polyaniline (printable nanoink) gas sensor for the detection of ammonia gas / P. Dipak, D. C. Tiwari, A. Samadhiya, N. Kumar, T. Biswajit, P. A. Singh, R. K. Tiwari // J. of Materials Science: Materials in Electronics. 2020. Vol. 31. P. 22512–22521. doi: 10.1007/s10854020047602Dipak P., Tiwari D. C., Samadhiya A., Kumar N., Biswajit T., Singh P. A., Tiwari R. K. Synthesis of Polyaniline (Printable Nanoink) Gas Sensor for the Detection of Ammonia Gas. J. of Materials Science: Materials in Electronics. 2020, vol. 31, pp. 22512–22521. doi: 10.1007/s10854-020-04760-2Recent advances of photocatalytic application in water treatment: A review / G. Ren, H. Han, Y. Wang, S. Liu, J. Zhao, X. Meng, Z. Li // Nanomaterials. 2021. Vol. 11, № 7. Art. № 1804. doi: 10.3390/nano11071804Ren G., Han H., Wang Y., Liu S., Zhao J., Meng X., Li Z. Recent Advances of Photocatalytic Application in Water Treatment: A Review. Nanomaterials. 2021, vol. 11, no. 7, art. no. 1804. doi: 10.3390/nano11071804Improving the NO2 gas sensing performances at room temperature based on TiO2 NTs/rGO heterojunction nanocomposites / Y. Ling, Y. Yu, C. Tian, C. Zou // Nanomaterials. 2024. Vol. 14, № 22. Art. № 1844. doi: 10.3390/nano14221844Ling Y., Yu Y., Tian C., Zou C. Improving the NO2 Gas Sensing Performances at Room Temperature Based on TiO2 NTs/rGO Heterojunction Nanocomposites. Nanomaterials. 2024, vol. 14, no. 22, art. no. 1844. doi: 10.3390/nano14221844Effect of surface wettability on nanoparticle deposition during pool boiling on lasertextured copper surfaces / J. Berce, A. Hadžic, M. Može, K. Arhar, H. Gjerkeš, M. Zupancic, I. Golobic // Nanomaterials. 2024. Vol. 14, № 3. Art. № 311. doi: 10.3390/nano14030311Berce J., Hadžic A., Može M., Arhar K., Gjerkeš H., Zupancic M., Golobic I. Effect of Surface Wettability on Nanoparticle Deposition During Pool Boiling on Laser-Textured Copper Surfaces. Nanomaterials. 2024, vol. 14, no. 3, art. no. 311. doi: 10.3390/nano14030311Photocatalysis / R. Ameta, M. S. Solanki, S. Benjamin, S. C. Ameta // Advanced oxidation processes for wastewater treatment. New York: Academic Press, 2018. P. 135–175. doi: 10.1016/B9780128104996.000061Ameta R., Solanki M. S., Benjamin S., Ameta S. C. Photocatalysisю Advanced Oxidation Processes for Wastewater Treatment. New York, Academic Press, 2018, pp. 135–175. doi: 10.1016/B978-0-12-810499-6.00006-1A review on the pathways of the improved structural characteristics and photocatalytic performance of titanium dioxide (TiO2) thin films fabricated by the magnetronsputtering technique / Y.H. Wang, K. H. Rahman, C.C. Wu, K.C. Chen // Catalysts. 2020. Vol. 10, № 6. Art. № 598. doi: 10.3390/catal10060598Wang Y.-H., Rahman K. H., Wu C.-C., Chen K.-C. A Review on the Pathways of the Improved Structural Characteristics and Photocatalytic Performance of Titanium Dioxide (TiO2) Thin Films Fabricated by the Magnetron-Sputtering Technique. Catalysts. 2020, vol. 10, no. 6, art. no. 598. doi: 10.3390/catal10060598Amorphous TiO2 nanostructures: synthesis, fundamental properties and photocatalytic applications / S. Sun, P. Song, J. Cui, S. Liang // Catalysis Science & Technology. 2019. Vol. 9, № 16. P. 4198–4215. doi: 10.1039/C9CY01020CSun S., Song P., Cui J., Liang S. Amorphous TiO2 Nanostructures: Synthesis, Fundamental Properties and Photocatalytic Applications. Catalysis Science & Technology. 2019, vol. 9, no. 16, pp. 4198–4215. doi: 10.1039/C9CY01020CCost comparison of advanced oxidation processes for wastewater treatment using accumulated oxygenequivalent criteria / E. Mousset, W. H. Loh, W. S. Lim, L. Jarry, Z. Wang, O. Lefebvre // Water Research. 2021. Vol. 200. Art. № 117234. doi: 10.1016/j.watres.2021.117234Mousset E., Loh W. H., Lim W. S., Jarry L., Wang Z., Lefebvre O. Cost Comparison of Advanced Oxidation Processes for Wastewater Treatment Using Accumulated Oxygen-Equivalent Criteria. Water Research. 2021, vol. 200, art. no. 117234. doi: 10.1016/j.watres.2021.117234Bactericidal mode of titanium dioxide photocatalysis / Z. Huang, P.C. Maness, D. M. Blake, E. J. Wolfrum, S. L. Smolinski, W. A. Jacoby // J. of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry. 2000. Vol. 130, № 2–3. P. 163–170. doi: 10.1016/S10106030(99)002051Huang Z., Maness P.-C., Blake D. M., Wolfrum E. J., Smolinski S. L., Jacoby W. A. Bacteri-cidal Mode of Titanium Dioxide Photocatalysis. J. of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry. 2000, vol. 130, no. 2–3, pp. 163–170. doi: 10.1016/S1010-6030(99)00205-1Effect of deposition parameters on properties of TiO2 films deposited by reactive magnetron sputtering / B. Wang, S. Wei, L. Guo, Y. Wang, Y. Liang, B. Xu, F. Pan, A. Tang, X. Chen // Ceramics Intern. 2017. Vol. 43, № 14. P. 10991–10998. doi: 10.1016/j.ceramint.2017.05.139Wang B., Wei S., Guo L., Wang Y., Liang Y., Xu B., Pan F., Tang A., Chen X. Effect of Deposition Parameters on Properties of TiO2 Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering. Ceramics Intern. 2017, vol. 43, no. 14, pp. 10991–10998. doi: 10.1016/j.ceramint.2017.05.139Sirghi L., Hatanaka Y. Hydrophilicity of amorphous TiO2 ultrathin films // Surface Science. 2003. Vol. 530, № 3. P. L323–L327. doi: 10.1016/S00396028(03)003972Sirghi L., Hatanaka Y. Hydrophilicity of Amorphous TiO2 Ultra-Thin Films. Surface Science. 2003, vol. 530, no. 3, pp. L323–L327. doi: 10.1016/S0039-6028(03)00397-2Martinez A. I., Acosta D. R., Lopez A. A. Effect of deposition methods on the properties of photocatalytic TiO2 thin films prepared by spray pyrolysis and magnetron sputtering // J. of Physics: Condensed Matter. 2004. Vol. 16, № 22. P. S2335–S2344. doi: 10.1088/09538984/16/22/036Martinez A. I., Acosta D. R., Lopez A. A. Effect of Deposition Methods on the Properties Of Photocatalytic TiO2 Thin Films Prepared by Spray Pyrolysis and Magnetron Sputtering. J. of Physics: Condensed Matter. 2004, vol. 16, no. 22, pp. S2335–S2344. doi: 10.1088/0953-8984/16/22/036Shashin D. E., Sushentsov N. I. Development of manufacturing technology of photodielectric sensitive element of ultraviolet range on the basis of thin films of zinc oxide // Вестн. МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2019. № 6. С. 99–109. doi: 10.18698/023639332019699109Shashin D. E., Sushentsov N. I. Development of Manufacturing Technology of Photodielectric Sensitive Element of Ultraviolet Range on the Basis of Thin Films of Zinc Oxide. Herald of the Bauman Moscow State Technical University. Ser. Instrument Engineering. 2019, no. 6, pp. 99–109. doi: 10.18698/0236-3933-2019-6-99-109Owens D. K., Wendt R. C. Estimation of the surface free energy of polymers // J. of Applied Polymer Science. 1969. Vol. 13, № 8. P. 1741–1747. doi: 10.1002/app.1969.070130815Owens D. K., Wendt R. C. Estimation of the Surface Free Energy of Polymers. J. of Applied Polymer Science. 1969, vol. 13, no. 8, pp. 1741–1747. doi: 10.1002/app.1969.070130815Шаповалов В. И. Нанопорошки и пленки оксида титана для фотокатализа (обзор) // Физика и химия стекла. 2010. Т. 36, № 2. С. 145–194.Shapovalov V. I. Nanopowders and Films of Titanium Oxide for Photocatalysis: A Review. Glass Physics and Chemistry. 2010, vol. 36, no. 2, pp. 121–157. doi: 10.1134/S108765961002001XШашин Д. Е., Дьячков А. Д. Формирование фотокаталитических пленок TiO2 методом реактивного магнетронного распыления с применением квазизамкнутого пространства // Вестн. МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. 2024. № 3 (148). C. 75–90.Shashin D. E., Dyachkov A. D. TiO2 Photocatalytic Film Formation by Reactive Magnetron Sputtering Using the Guasi-Closed Space. Herald of the Bauman Moscow State Technical University. Ser. Instrument Engineering. 2024, vol. 148, no. 3, pp. 75–90. (In Russ.)Особенности получения фотокаталитических тонких пленок TiO2 методом магнетронного распыления / Н. И. Сушенцов, Д. Е. Шашин, Е. В. Михеева, А. Д. Дьячков // Вакуумная техника и технологии 2022: тр. 29й Всерос. науч.техн. конф. с междунар. участием, СанктПетербург, 21–23 июня 2022. СПб.: Издво СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2022. С. 282–285.Sushenstov N. I., Shashin D. E., Mikheeva E. V., Dyachkov A. D. Osobennosti polucheniya fotokataliticheskikh tonkikh plenok TiO2 metodom magnetronnogo raspyleniya[ Features of Obtaining Photocatalytic Thin Films of TiO2 by Magnetron Sputtering]. 29th Аll-Russ. Conf. with Intern. Participation. Vacuum Technique and Technology – 2022, St Petersburg, Rus-sia, 21–23 June 2022. SPb, Izd-vo SPbGETU "LETI", 2022, pp. 282–285. (In Russ.)Дьячков А. Д., Шашин Д. Е., Романов А. Л. Исследование морфологии поверхности фотокаталитических тонких пленок диоксида титана // Донецкие чтения 2024: образование, наука, инновации, культура и вызовы современности: материалы IX Междунар. науч. конф., Донецк, 15–17 окт. 2024. Донецк: Издво ДонГУ, 2024. С. 95–97.Dyachkov A. D., Shashin D. E., Romanov A. L. Issledovanie morfologii poverkhnosti fotokataliticheskikh tonkikh plenok dioksida titana [Study of the Surface Morphology of Photocatalytic Thin Films of Titanium Dioxide]. Donetsk Readings 2024: Education, Science, Innovation, Culture and Contemporary Challenges: Proc. of the IX Intern. Scientific Conf., Donetsk, 15–17 Oct. 2024. Donetsk, Izd-vo DonGU, 2024, pp. 95–97. (In Russ.)

The authors declare that there are no conflicts of interest present.